皖仪科技：皖仪科技氦质谱检漏仪可精准检测半导体器材封装气密性

  器材封装气密性，有用鉴别封装微走漏缺点，躲避水汽、杂质侵入引发的器材功能衰减与失效问题，保证芯片在高低温、湿热、振荡等杂乱工况下的长时间稳定性与可靠性，可广泛适配真空封装、陶瓷金属气密封装、晶圆级封装（WLP）、体系级封装（SiP）及功率器材封装等中心工艺环节，是封装制程气密性质控与可靠性验证的中心精细检测设备。2025年度，公司二氧化硫剖析仪、氨气剖析仪、在线离子色谱体系等产品，凭仗气体采样和气态分子剖析技能，成功打破半导体晶圆厂洁净车间AMC（气态分子污染物）在线监测事务，并构成必定的收入。此外，公司在研项目——超痕量多种气体一体化智能